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  广州潽拓光电科技有限公司现货德国普发PFEIFFER TMH262XS分子泵以及专业维修PFEIFFER全系列分子泵

德国普发PFEIFFER TMH262XS涡轮分子泵维修展示：

PFEIFFER TMH262XS普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100CF-F，出气法兰口ISO-KF，抽速可达到210 L/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：Pfeiffer  TC100等

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PFEIFFER 分子泵 XT160-160-001（PUTUOVAC VACUUM）

真空泵使用说明：

1、关闭泵上方的阀门

2、有冷却水的泵接通冷却水。

3、近规定转向手盘皮带轮数圈，普发涡轮分子泵维修，把泵腔内的油排入油箱内，确保启动不易喷油。（特别在冬季，油粘大，启动负荷大，故请注意）。

4、启动电动机，泵开动运转，观察油窗，检查油位。油位应在油标中心，油位偏高，会造成喷油；油位偏低，会造成润滑不良，泵极限压力达不到出厂指标。 加油、放油位置详见泵指示牌。广州潽拓光电——出售PfeifferDCU100德国普发分子泵电源以及专业维修分子泵-PfeifferDCU100普发分子泵电源适用于PfeifferTMH071分子泵全新现货发售，价格优惠。缓慢打开泵上方的阀门，系统开始工作。 泵不工作时，油窗内几乎看不到油，都进入泵体内，油位以泵运转时为准。

5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜，进出水温差以不超过3℃为宜。

6、当环境温度低于5℃时，应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。

7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜，否则应加强通风散热或增加冷却水流量。

8、进气温度高于40℃而使泵温过高时，须采取措施冷却气体。

9、当吸入气体对泵油或泵有影响时，在泵口前应装一个合适的过滤装置。

10、当泵抽除含有少量可凝性气体时，启动泵时应打开气镇阀工作半小时，可延长泵油使用时间。

11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时，在泵口前应装一个合适的过滤器。

12、关泵前，应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝，然后停泵，再拧紧气镇阀，以防漏油，后关闭冷却水。冬季有冻jie的场合应放净泵内冷却水，以防泵腔冻裂。

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，普发涡轮分子泵，太阳能电池板，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等一线品牌分子泵，真空泵，真空计专业维修保养/销售等业务。可搭配普发PfeifferTC100控制器（电源）销售，也可单泵或是单控制器销售，我司提供专业维修、保修等技术服务。

广州潽拓——专业维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离，普发涡轮分子泵速度， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。

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